首先檢查儀器外觀、各部分相互作用及視場清晰度。在確定儀器的光源、濾色片、孔徑光闌、粗細調焦手輪及附件完好無損,運行正常,確定物鏡、目鏡等附件無影響測量的霉斑等因素后再進行校準。

雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差 

把分度值為0.1mm的標準玻璃線紋尺放置在工作臺左右方向 (縱向),選用10×物鏡,調焦至目鏡目標清晰，在右目鏡中讀取標準玻璃線紋尺在視場兩側的刻度值a1及a2,然后在左目鏡中讀取標準玻璃線紋尺在視場邊緣兩側的刻度值a3 及a4,則兩視場中心在左右方向的相對偏差δ縱按公式 (1)計算: 

把分度值為0.1mm 的標準玻璃線紋尺放置在工作臺上下方向 (橫向),在右目鏡中讀取標準玻璃線紋尺在視場邊緣兩側的刻度值b1及b2,然后在左目鏡中讀取標準玻璃線紋尺在視場兩側的刻度值b3 及b4,則兩視場中心在上下方向的相對偏差δ橫按公式(2)計算: 

該項目須在雙目鏡的瞳距為內側和外側兩位置時分別校準。 

物鏡放大倍率誤差：

目鏡帶有分劃尺：在工作臺上放置相對應的標準玻璃線紋尺,裝上被校物鏡,調焦至目鏡目標清晰，并使目鏡中的分劃尺與標準玻璃線紋尺刻線平行,目鏡中的分并使目鏡中的分劃尺與標準玻璃線紋尺刻線平行,目鏡中的分劃尺的左端刻線與標準玻璃線紋尺零刻線對齊,在目鏡分劃尺的尾刻線處讀出標準玻璃線紋尺的實際值L。則物鏡倍率誤差β物按公式 (3)計算:

式中:C———目鏡分劃尺的分度值;m———目鏡分劃尺的總格數。 

目鏡無分劃尺 

在工作臺上放置相對應的標準玻璃線紋尺,裝上被校物鏡,取下目鏡,將倍率計置于目鏡筒上,調節物鏡的像面距離,使標準玻璃刻度尺在倍率計分劃尺上成清晰像。 

示值誤差 

示值誤差應該分別在不同物鏡放大倍率下進行。

目鏡式示值誤差 

在工作臺上放置相對應的標準玻璃線紋尺,裝上被校物鏡,調焦至目鏡中目標清晰,并使目鏡中的分劃尺與標準玻璃線紋尺刻線平行,將目鏡中標尺的左端零刻線對準標準玻璃線紋尺零刻線,觀察目鏡中分劃尺上被測點的刻線與標準玻璃線紋尺的對應刻線一致性,在分劃尺上讀出對應測量點的讀數值Li。按照公式 (4)計算目鏡式示值誤差 ΔL: 

                                                                                                     ΔL=Li-L (4) 

式中:Li———分劃尺的讀數值,mm;L———對應測量點標準玻璃線紋尺的實際尺寸,mm。目鏡式示值誤差應在被檢分劃尺在視場的全長范圍內不少于均勻分布的3個位置進行,取最大誤差值作為校準結果。 

圖像式示值誤差 

首先在工作臺上放置相對應的標準玻璃線紋尺,調焦至顯示屏目標清晰。然后用測量程序測量出標準玻璃線紋尺刻線間的距離,應在視場范圍內不少于均勻分布的3個位置進行。取最大誤差值作為校準結果。

校準結果的表達 

經過校準的金相顯微鏡出具校準證書。校準證書應包含校準結果、示值誤差以及不確定度。校準證書應符合JJF1071—2010中5.12的要求。 

復校時間間隔 

復校時間間隔根據實際使用的具體情況確定,建議一般不超過1年。